[Tin tức] Trung Quốc: Prinano bàn giao máy in thạch bản nano nội địa đầu tiên, thách thức Canon
Theo ICsmart, công ty Trung Quốc Prinano vừa công bố hệ thống in thạch bản nano in phun “step-and-repeat” dòng PL-SR đầu tiên do họ tự phát triển đã vượt qua kiểm định và được bàn giao cho một khách hàng trong lĩnh vực quy trình đặc thù.
Hệ thống này có thể xử lý quy trình in thạch bản nano với chiều rộng đường mạch dưới 10 nm. Trong khi đó, máy FPA-1200NZ2C của Canon đạt chiều rộng 14 nm và được tuyên bố có thể sản xuất chip tiến trình 5 nm. Như vậy, PL-SR đã vượt Canon ở chỉ số này, nhưng điều đó không đồng nghĩa nó có thể sản xuất chip logic tiên tiến ở nút 5 nm.
Công nghệ in thạch bản nano cho sản xuất chip không cần nguồn sáng EUV phức tạp như quang khắc EUV thương mại, giúp giảm tiêu thụ năng lượng và chi phí thiết bị, nhưng tốc độ chậm hơn và không phù hợp với chip logic phức tạp. Thay vào đó, hệ thống của Prinano phù hợp với chip nhớ NAND Flash và các loại chip nhớ có cấu trúc đơn giản. Các nhà sản xuất chip nhớ Trung Quốc có thể dùng thiết bị nội địa này để giảm phụ thuộc vào công cụ sản xuất cao cấp từ nước ngoài, tăng sức cạnh tranh với SK hynix và Samsung.
Máy FPA-1200NZ2C của Canon dù không phải hệ thống quang khắc truyền thống, vẫn chịu hạn chế xuất khẩu sang Trung Quốc. CEO Canon đã xác nhận điều này. Việc Prinano bàn giao thành công PL-SR đánh dấu một bước tiến nhằm phá thế độc quyền của Canon và vượt qua phần nào các biện pháp kiểm soát xuất khẩu của phương Tây.
PL-SR là hệ thống thạch bản với khả năng phủ in phun và căn chỉnh độ chính xác cao, hỗ trợ ghép mẫu đều từ 20 × 20 mm đến toàn bộ wafer 300 mm (12 inch).
